手动，半自动和自动

Bob体育下载链接APPSPM根据客户要求生产不同版本的湿工作台。我们用机器人实现各种类型的工具，从手动罩到全自动湿工作台。

我们从事半导体设备生产多年，积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。

我们建议的湿板凳可以是:

  • 手册
  • 半自动
  • 自动

我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们擅长在第一次会议上识别客户的需求，因此我们可以为每个问题提出正确的解决方案。

对于溶剂，我们通常采用符合防火安全规定的不锈钢材料。与酸碱，我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4910批准)。在这两种情况下，我们只使用高性能材料，保证无化学污染或降解，安全和设备寿命长。

湿的长椅

漂洗，处理和干燥罐由SPM设计和实现，只使用顶级性能的材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP

湿工作台可以配置为操作单或双载体。晶圆尺寸可以从3英寸到8英寸甚至更多。Bob体育下载链接APPSPM还具有太阳能电池生产和特殊零件清洗设备的经验。

两个手动湿工作台用于酸处理。" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-1024x683.jpg 1024w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-630x420.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-300x200.jpg 300w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-768x512.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-615x410.jpg 615w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-400x267.jpg 400w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-800x533.jpg 800w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-292x195.jpg 292w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-585x390.jpg 585w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045.jpg 1200w">

湿的长椅
选项

湿长凳罐可以配备几种选择:

  • 超声波
  • Megasonic
  • 快速倾倒冲洗
  • 溢出360°
  • 上下搅拌与可配置的高度和频率
  • 温度控制:加热-冷却
  • 溶液再循环与不同的泵和流量控制选项
  • 溶液混合和灌装
  • 从光盘或集成瓶/罐的再灌装系统
  • 氮气泡沫
  • 控制大气
  • 蒸汽冷凝
  • 酸度计
  • 集中监控
  • 氧化还原计
  • 电阻率计
  • 自动覆盖

湿工作台选项:

  • 排气自动管理b0b体育平台下载
  • 层流与HEPA过滤器

所有SPBob体育下载链接APPM湿工作台均由PLC控制，触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时的和历史的
  • P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
  • 主机sec - gem接口(可选)

所有工具均按照安全CE规则实现。如果需要，我们可以用ATEX认证来制造我们的设备。

市场

半导体

晶圆片/掩膜加工及清洗，设备零件清洗

光伏

Iso纹理，细胞回收

研究中心/实验室

化学实验室罩

画廊