废晶圆销毁系统
虎鲨是一个自动销毁晶圆的系统。它专门用于未通过最终测试(闪存技术)的晶圆。
该设备使用化学品破坏晶圆,也可用于使用特定溶液破坏面罩。
本系统为自动版,可容纳25片单载,8寸-12寸。在工艺槽内,经过化学处理后,将有一个漂洗阶段。bob综合体育注册蚀刻液被回收并储存在下面的另一个槽中,以备再次使用。
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浪费晶片
选项
废晶圆销毁设备采用PLC控制和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时的和历史的
- P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
- 主机sec - gem接口(可选)
所有工具均按照安全CE规则实现。
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半导体
自动废晶圆销毁设备