设备零件清洗解决方案
Bob体育下载链接APPSPM生产用于清洗从工艺设备(如Oerlikon TCO1200机器)中拆卸的金属部件的专用设备。(用于大面积薄膜太阳能组件的透明导电氧化物高性能层)
这些设备,可以清洗零件高达1600x1600mm,重量可达300Kg。为了清洗同一设备中的小零件,我们设计了专用的零件篮,可以装在一个特殊的框架内。
我们从事半导体设备生产多年,积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。
清洗过程是通过化学腐蚀金属部件来实现的。
这机器是全自动的;待清洗零件装入后,由机器人在工艺槽内进行搬运。从这里开始清洗过程。几种化学品可以进入罐内,然后将沉积在金属上的氧化物去除。超声波冲洗过程保证了酸残留的完全去除。最后一个阶段是干燥。在机器内部,使用高性能风扇产生的热风进行预干燥操作。最后的干燥阶段由单独的烤箱完成。
化学溶液
化学溶液储存在专用缓冲罐中。使用过的溶液可以过滤并在下一个过程中重复使用。CDS将完成化学品的再填充。
我们可以提供交钥匙解决方案来执行清洁,提供CDS、清洁设备、干燥炉、废化学品收集系统、排气洗涤器和喷砂器,用于无法使用化学品清洁的金属部件。
我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们擅长在第一次会议上识别客户的需求,因此我们可以为每个问题提出正确的解决方案。

触屏
软件
所有SPBob体育下载链接APPM设备均采用PLC控制,触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时的和历史的
- P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
- 主机sec - gem接口(可选)
所有工具均按照安全CE规则实现。如果需要,我们可以用ATEX认证来制造我们的设备。
市场
半导体
从工艺设备中拆卸金属部件进行清洗
光伏
从工艺设备中拆卸金属部件进行清洗
研究中心/实验室
化学实验室罩