手动、半自动和自动
Bob体育下载链接APPSPM生产全自动和半自动单一晶片设备根据客户需求。
晶片的大小可以从3“8”。一个自动机器人处理晶圆一个接一个地加载到进程室(s)捕获载体。
完整的流程执行到一个室:
- 化学过程从几个缓冲罐;
- 冲洗;
- 晶片擦洗(可选);
- Megasonic(可选);
- 氮气泡沫(可选);
- 干燥和高速旋转。
过程的坦克

流程坦克完全意识到在聚四氟乙烯导电聚四氟乙烯(可选),包括:
- 旋转卡盘与无刷伺服电动机(可调快速直到3000 rpm max),晶片保持真空;
- / DW电轴:从液体式装卸的晶片室和距离设置;
- 自动覆盖电动执行机构;
- 化学溶液混合,加热:解决方案来自于缓冲罐、泵;
- N2气氛:进口的N2过程;
- 局部排气控制:自动排气控制;
- 与解决方案恢复到360°溢出缓冲罐;
- 可选-晶片擦洗:输入输出电轴为晶片与旋转电机和高性能的海绵擦洗擦洗;
- 可选- megasonic:megasonic数组在罐底清洗过程;
- 可选- N2泡沫:N2进气处理罐内部解决方案;
- 可选-氧浓度监测;
- 可选——pH值流失监测;
- 可选-氧化还原排水监控;
- 可选-电阻率流失监测。
根据过程需要过程坦克类型不同。Bob体育下载链接APPSPM最新技术被称为“流动效应”(专利)。
Bob体育下载链接APPSPM专利
“漂浮的过程”
3年以来,SPM发射处理的新方Bob体育下载链接APP法。
最初的想法,我们关注的问题是找到一个创新的方法来处理单一晶片。
从客观SPM工程师发现处理罐的新设计原则的基础上浮动的晶圆Bob体育下载链接APP化学解决方案。
几个缓冲罐可以安装到系统中,可以配备:
- 磁悬浮泵再循环和解决方案交付处理罐自动流量控制
- 流量计
- 过滤
- 化学混合用高精度流量计或平衡
- 加热/冷却和温度传感器
- 模拟水平传感器控制的准确体积的解决方案
缓冲罐的材料取决于化学和温度:
- PVDF (90°C的解决方案)
- 不锈钢316 l(溶剂)
- 聚乙烯(室温)
- 高温石英(解决方案)
- 聚四氟乙烯
- 海拉尔
- PFA
根据客户需求过程序列可以被定义。过程坦克可能是“独立”与一个独特的油箱内的所有步骤或分离,与几个过程只坦克执行单一配方的步骤。在这种情况下,将从一个处理罐转移到另一个可以执行没有空气接触特别“浮动效应”透明的幻灯片。
单一晶片加工设备是由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP
- 配方管理;b0b体育平台下载
- 数据采集:实时和历史;
- 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护;
- 主机SECS-GEM接口(可选)。
所有工具实现以下安全CE规则。我们可以建立我们的设备ATEX认证的情况下是必要的。
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