手动，半自动和自动

Bob体育下载链接APPSPM可根据客户需求定制全自动和半自动单晶片设备。

晶圆片的尺寸可以从3英寸到8英寸。自动机器人将晶圆片一个接一个地装入加工室，从载体上接下来。

整个过程在一个单独的腔室中完成:

  • 从几个缓冲罐进行化学处理;
  • 冲洗;
  • 硅片洗涤(可选);
  • Megasonic(可选);
  • N2泡(可选);
  • 用高速纺丝机干燥。

过程的坦克

全自动单片表面制备设备。能够处理晶圆尺寸从3到6英寸。5个工艺罐和5个缓冲罐。" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-1024x683.jpg 1024w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-300x200.jpg 300w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-768x512.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-630x420.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-420x280.jpg 420w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-840x560.jpg 840w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-315x210.jpg 315w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD.jpg 1200w">

工艺箱完全采用聚四氟乙烯(可选导电聚四氟乙烯)，包括:

  • 旋转卡盘无刷伺服电动机(速度可调，最高可达3000转/分)，带真空保持;
  • 上/下电轴:硅片从腔室的装卸和离液体装置的距离;
  • 自动覆盖带电动执行器;
  • 化学溶液的混合和加热:溶液从缓冲罐流出，由泵输送;
  • N2气氛:过程中N2的入口;
  • 局部控制排气:自动排气控制;
  • 360°溢流，溶液回收到缓冲槽;
  • 可选-晶圆清洗:进出式电动轴，配有旋转电机和高性能擦洗海绵;
  • 可选- megasonic:用于清洗过程的罐底超声速阵列;
  • 可选- N2泡:工艺槽内N2入口溶液;
  • 可选-氧浓度监测;
  • 可选- pH排水监测;
  • 可选-氧化还原排水监测;
  • 可选-电阻率漏损监测。

工艺罐的类型根据工艺需要而变化。Bob体育下载链接APPSPM最新技术被称为“漂浮效应”(专利)。

Bob体育下载链接APPSPM专利
“漂浮的过程”

3年来，SPM还推出了一种新的Bob体育下载链接APP加工方式。
我们最初关注这个问题的想法是找到一种创新的方法来处理单晶圆。
从这个目标出发，SPM工程师发现了一种新的工艺槽设计，该设Bob体育下载链接APP计基于晶圆在化学溶液上漂浮的原理。

若干缓冲罐可安装到系统中，并可配备:

  • 磁悬浮泵用于再循环和溶液输送到工艺槽，具有自动流量控制
  • 流量计
  • 过滤
  • 化学混合配有高精度流量计或天平
  • 带温度传感器的加热器/冷水机
  • 模拟液位传感器，用于控制溶液的精确体积

缓冲罐材质因化学品和温度的不同而不同:

  • PVDF(高达90°C的溶液)
  • 不锈钢316L(溶剂用)
  • PE(室温)
  • 石英(高温溶液)
  • 聚四氟乙烯
  • 海拉尔
  • PFA

可根据客户需要定义工艺顺序。工艺槽可以是“独立的”，所有步骤都在一个单独的槽内，也可以是分开的，有几个工艺槽只执行单个配方步骤。在这种情况下，从一个工艺槽到另一个工艺槽的转移可以在没有空气接触的情况下通过特殊的“浮动效果”液体滑块进行。

单片加工设备由PLC控制，触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理;b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史;
  • P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护;
  • 主机sec - gem接口(可选)。

所有工具均按照安全CE规则实现。如果需要，我们可以用ATEX认证来制造我们的设备。

市场

半导体

全自动单片加工设备

研究中心/实验室

化学实验室罩

画廊