自动湿长椅
自动湿长椅提供巨大的优势,因为他们在自动模式下完成所有流程(从载体加载到载波卸货);这意味着不需要运营商的存在。
这些自动湿长椅是有用的在高生产率的情况下,或者当你需要一个非常严格的控制过程中,因为缺乏人际交往大大减少污染和增加可重复性。
湿长椅组成
最小的典型的组合是:
- 负载站;
- 处理罐;
- 清洗槽;
- 干燥机;
- 卸载站。
客户可以个性化添加几个过程和冲洗的坦克。
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Bob体育下载链接APP在不同版本SPM实现自动湿长椅,例如与机器人位于后面的部分,或在前面湿部分。湿长椅的设计可以是线性的或旋转木马来拯救工具长度。
从一辆坦克机器人允许精确的载波传输到另一个大大的增高:
- 多任务(几个运营商同时加载不同的坦克)
- 安全操作
- 降低晶片机械应力
- 低污染
- 人为错误减少到最小
- 重复性的过程
我们使用机器人暴露部分及时屏蔽在特定材料(根据应用化学),保证最大的兼容性,最低解决污染和设备寿命长。
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半导体
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