设备石英部件清洗解决方案
Bob体育下载链接APPSPM制造专用设备，用于清洗从工艺设备中拆卸的石英部件，如石英管，船，热电偶屏蔽等。
这些设备，可以清洗所有的石英零件，在维护操作中需要清洗。对于同一设备内的小部件清洗，我们设计了专用清洗槽。
我们多年来一直生产半导体设备，积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。
清洗过程是通过对石英部件进行化学攻击来实现的。
这机器是全自动的;在装载待清洗部件后，系统将从混合罐内的纯化学品开始制备溶液。不同的工艺和冲洗步骤依次执行，最后，干燥器阶段开始使用热H2ODI，然后是热N2，两者都由专用加热器直接产生。
化学填
我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求，为每个问题提出正确的解决方案。
系统的配置可以根据您需要清洗的石英部件和洁净室空间而有所不同。清洗过程可以是垂直或水平的。
所有SPBob体育下载链接APPM设备均由PLC和触摸屏控制，对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时和历史
- P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具都遵循安全CE规则实现。
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