自动单晶片金属升降设备

Bob体育下载链接APPSPM可根据客户需求量身定做全自动金属升降设备。

晶圆尺寸可以从3英寸到8英寸。一个自动的机器人手柄将晶圆一个接一个地装入工艺室,从载体上捕获它们。

整个过程在一个腔室中执行:

  • 金属发射;
  • 冲洗;
  • 用高速旋转器干燥。

金属提升罐

4英寸圆片尺寸全自动金属升降设备" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD.jpg 1200w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-300x200.jpg 300w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-768x512.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-1024x683.jpg 1024w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-630x420.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-420x280.jpg 420w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-840x560.jpg 840w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-315x210.jpg 315w">

我们所设计的金属吊箱完全采用聚四氟乙烯材料,包括:

  • 旋转平台无刷伺服电动机(速度可调至5000rpm),真空保存晶片;
  • 自动覆盖带电动执行机构;集成自动门开启和超声速换能器通道;
  • “Megpie”超音速换能器频率为1mhz;
  • 两轴可编程,电动机械手用于Megasonic传感器从家的位置移动;槽内H2ODI再循环,连续溢出;
  • H2ODI/其他溶液喷嘴自动移动;可编程位置、速度、频率电轴;
  • 在控制温度下将溶液入口提离;溶液来自缓冲槽,经泵;
  • 高压泵用于去除金属残留。

升降设备由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。

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