单晶圆金属自动升降设备

Bob体育下载链接APPSPM根据客户需求生产全自动金属升降设备。

晶圆片的尺寸可以从3英寸到8英寸。自动机器人将晶圆片一个接一个地装入加工室，从载体上接住晶圆片。

整个过程在一个单独的腔室中完成:

  • 金属发射;
  • 冲洗;
  • 用高速纺丝机干燥。

金属升降舱

全自动金属升降设备，适用于4英寸晶圆尺寸" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD.jpg 1200w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-300x200.jpg 300w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-768x512.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-1024x683.jpg 1024w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-630x420.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-420x280.jpg 420w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-840x560.jpg 840w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_0040_MOD-315x210.jpg 315w">

我们设计的金属升降箱完全采用聚四氟乙烯材料，包括:

  • 旋转平台无刷伺服电动机(速度可调，最高可达5000转/分钟)，真空保持;
  • 自动覆盖带电动执行器;集自动开门和超声速换能器通道于一体;
  • " Megpie "超音速换能器频率为1mhz;
  • 两轴可编程，电动机械手用于超声速换能器从原点移动;H2ODI在罐内循环连续溢流;
  • H2ODI/其他溶液喷嘴自动移动;可编程位置、速度、频率电动轴;
  • 在受控温度下将溶液入口提离;溶液从缓冲罐流出，由泵输送;
  • 高压泵用于金属残留去除。

升降设备采用PLC控制和触摸屏控制，对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时的和历史的
  • P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
  • 主机sec - gem接口(可选)

所有工具均按照安全CE规则实现。如果需要，我们可以用ATEX认证来制造我们的设备。

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