设备清洗石英部分的解决方案

Bob体育下载链接APPSPM制造专用设备清洗石英部分拆除等工艺设备的简述3061年LPE2061和ASM的机器。

这些设备,可以清洁所有石英部分需要清洗维护操作。清洁小部件在同一设备,我们设计了专门的部分篮子放入专用水箱清洗。

我们多年来一直生产半导体设备和有一个伟大的经验。这使得我们perfectionate技术和工具。

清洗过程是通过使用化学攻击石英部分。

这台机器完全自动;加载部分被清洁后,该系统将准备的解决方案从纯化学物质混合槽内。不同的流程顺序和冲洗步骤执行子最后干燥阶段开始使用热H2ODI然后热N2,直接由专用加热器。

化学填

化学可以从cd或瓶灌装站根据客户要求。

我们意识到每个系统是根据客户的要求量身定做。我们确定专家第一次会议,客户的必需品,所以我们可以为每个问题提出正确的解决方案。

森尼维耳市模型:简述3061年和ASM零件清洗站。" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-1024x683.jpg 1024w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-300x200.jpg 300w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-768x512.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-630x420.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-420x280.jpg 420w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-840x560.jpg 840w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-315x210.jpg 315w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD.jpg 1200w">

石英清洁
选项

系统的配置可以随石英部分你需要清洁。我们的设备列表:

  • 雅典模型:简述2061年石英钟罩清洗系统
  • 开罗模型:简述3061石英室和过程设备清洗系统
  • 马尼拉模型:简述3061年石英室& LPE 2061石英钟罩和过程设备清洗系统
  • 摩纳哥模型:ASM石英室和过程设备清洗系统
  • 漂亮的模型:简述2061年石英钟罩,ASM室
和过程设备清洗系统
  • 比雷埃夫斯模型:简述2061或AMC 7810 - 7820石英钟罩和过程设备清洗系统
  • 阿格里真托模型:室LPE 3061、小零件、钟罩和石英管清洗系统
  • 森尼维耳市模型:简述3061年,ASM石英钱伯斯和过程设备清洗系统

SPM设Bob体育下载链接APP备都是由PLC和触摸屏来管理整个系统。

由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据采集:实时和历史
  • 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具实现以下安全CE规则。

市场

半导体

EPI石英部分清洗系统

画廊