全自动太阳能电池酸/碱性变形
Bob体育下载链接APPSPM可根据客户要求生产不同版本的太阳能电池湿长椅。
我们实现了各种类型的工具,从手动罩到全自动湿工作台与机器人。
我们多年来一直生产半导体设备,积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。
我们建议的湿板凳可以是:
₪手册
₪半自动
₪自动
我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求,为每个问题提出正确的解决方案。
溶剂通常采用不锈钢材料,符合防火安全规定。酸碱,我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4910批准)。
在这两种情况下,我们只使用高性能材料,确保没有化学污染或降解,安全和长设备寿命。
湿的长椅
清洗,加工和干燥罐由SPM设计和实现,仅使用顶级性能材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP
湿式工作台可配置为单架或双架。

湿凳罐
选项
湿板凳罐可以配备以下几种选择:
- 负载和卸载平衡,以衡量织构效率
- 超声波
- Megasonic
- 快速冲洗
- 溢出360°
- 上/Dw搅拌高度和频率可配置
- 温度控制:加热-冷却
- 溶液过滤
- 溶液再循环与不同的泵和流量控制选项
- 溶液混合和搅拌
- 再灌装系统从cd或集成瓶/罐
- 氮气泡沫
- 控制大气
- 蒸汽冷凝
- 酸度计
- 集中监控
- 氧化还原计
- 电阻率计
- 自动覆盖
湿板凳选择
全自动湿式工作台具有很大的优势,因为它在自动模式下完成所有过程(从载体装载到载体卸载);这意味着不需要操作员的存在。
这些自动湿工作台在提高生产率的情况下是有用的,或者当你需要非常严格的过程控制时,因为没有人的接触大大减少了污染,增加了可重复性。
最小典型组合为:
- 负载站;
- 处理罐;
- 清洗槽;
- 干燥机;
- 卸载站。
客户可根据客户需求,增加多个工艺和冲洗槽。
Bob体育下载链接APPSPM实现了不同版本的自动湿长椅,例如机器人位于后面部分或前面的湿长椅。湿式工作台可采用线性或旋转式设计,节省刀具长度。
机器人允许精确的载体转移从一个坦克到另一个保证:
₪多任务处理(多个载具同时装载在不同的坦克中)
₪操作人员安全
₪降低晶圆机械应力
₪低污染
₪人为错误减少到最小
₪过程的可重复性
我们使用的机器人的外露部件都用特定的材料(根据所使用的化学品)进行适当的屏蔽,以保证最大的兼容性,最小的溶液污染和设备的长寿命。
- 废气自动管理b0b体育平台下载
- 层流HEPA过滤器
所有SPBob体育下载链接APPM湿台均采用PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时和历史
- P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。
自动湿长椅
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