光掩模清洗设备

“科罗拉多模式”

科罗拉多模型已开发用于照片掩模清洗。该工具能够处理6”和9”的掩模。

由于有10个插槽的自定义载体,通过SPM使用防静电材料实现,以满足防静电需求。Bob体育下载链接APP

层流与高效空气过滤器确保高水平的清洁内部的过程区域。

一个自动机器人处理面具一个接一个地装入工艺室,从载体上捕获它们。

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科罗拉多州的模型
选项

整个过程执行到4个槽中:

  • 罐1:热化学溶液处理罐
  • 槽2:用H2ODI RT和热H2ODI冲洗
  • Tank3:用RT化学溶液处理槽,用H2ODI RT和HOT H2ODI冲洗槽
  • 用热N2干燥

工艺罐完全采用PVDF实现,包括:

  • 喷淋电器轴:在过程中以可编程的速度和暂停将喷雾棒移向面具。
  • 自动快门配备气动执行机构,确保机器人面罩的装卸
  • 化学溶液混合加热;溶液来自缓冲罐,通过泵。
  • 局部排气:自动排气控制
  • 可选:电阻率漏压监测

工艺罐类型根据工艺需要而变化。

若干缓冲罐可安装到系统中,并可配备:

  • 磁悬浮泵用于再循环和溶液输送到工艺罐,具有自动流量控制
  • PNE泵用于再循环和溶液输送到工艺罐(与磁悬浮泵相比价格更低)
  • 流量计
  • 过滤
  • 化学混合配高精度流量计或天平
  • 带温度传感器的加热器/冷水机
  • 模拟液位传感器,用于控制溶液的确切体积

缓冲罐的材料因化学品和温度的不同而不同:

  • PVDF(高达90°C溶液)
  • 不锈钢316L(用于溶剂)
  • PE(室温)
  • 石英(高温溶液)
  • 聚四氟乙烯
  • 海拉尔
  • PFA

工艺顺序可根据客户需要确定。处理槽可以是“独立的”,所有步骤都在一个惟一的槽中,也可以是分离的,由几个处理槽仅执行单个配方步骤。

单台光掩模清洗设备由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。

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