手动,半自动和自动
Bob体育下载链接APP可根据客户要求生产不同版本的电镀湿工作台。
对于设备结构,我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也通过FM4910认证)。这些高性能材料保证无化学污染或降解,安全,设备寿命长。
漂洗,处理和干燥罐由SPM设计和实现,只使用顶级性能的材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP
湿工作台可以配置为操作单个或多个产品。Bob体育下载链接APPSPM实现了定制的产品支架来传递电解过程的电流。
湿工作台选择
湿工作台选项:
- 排气自动管理;b0b体育平台下载
- 层流与HEPA过滤器。
所有SPBob体育下载链接APPM电镀湿工作台均采用PLC控制,触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理;b0b体育平台下载
- 数据记录:实时和历史;
- P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护;
- 主机sec - gem接口(可选)。
所有工具均按照安全CE规则实现。如果需要,我们可以用ATEX认证来制造我们的设备。

电镀湿工作台
选项
电镀湿板凳罐可配备多种选择,如:
- 废液回收;
- 加工和冲洗槽;
- 干衣机。
电解工艺槽可配备:
- 360°溢出
- 用于溶液再循环和过滤的泵
- 加热器/冷水机用于溶液温度控制
- 温度传感器
- 电源由SPM软件控制Bob体育下载链接APP
- 钛阴极棒与持有人支持
- 镀钛阳极网
- 自动从CDS中重新灌装/混合溶液
- 自动排水与溶液回收
- 溶液pH监测
- 水平传感器
- / DW风潮
Bob体育下载链接APPSPM专利“浮动工艺”
3年来,SPM还推出了一种新的Bob体育下载链接APP加工方式。
我们最初关注这个问题的想法是找到一种创新的方法来处理单晶片-太阳能电池衬底,而不是实际复杂而昂贵的机制,需要一个支架将电流转移到产品上。
从这个目标出发,SPM工程师发现了一种新的工艺槽设计,该设Bob体育下载链接APP计基于晶圆在化学溶液上漂浮的原理。
你也可以用最后一种技术要求工艺箱。
市场
半导体
硅片电镀设备。
研究中心/实验室
硅片电镀设备。