独立干燥设备

可以采用不同的工艺来达到干燥的目的。溶液根据产品尺寸,颗粒,干燥速度,单片或载体负载而变化。

Bob体育下载链接APPSPM独立烘干机可以单片或批量操作,使用载体。

SPM可以提供的技术有:Bob体育下载链接APP

  • 热氮气干燥
  • 自旋干燥机
  • 酒精半月板

最简单的方法是使用专用加热器内联产生的HOT N2。储罐材料为SS316L,可选覆盖PTFE,以减少颗粒沉积在储罐壁上。

旋转干燥机也可以包括冲洗循环。罐体可设计为单片或批量使用。在这种情况下,电动马达旋转高达4000转/分钟,以旋转除去水颗粒。

酒精半月板干燥机用于颗粒要求极为严格的情况。特殊的水箱保证可以冲洗硅片,然后在顶部进口IPA。液体的排出或晶圆的上升会在晶圆表面形成一个半月板状的酒精,使表面干燥成为可能。还注入热氮气以帮助干燥过程。

烘干机设备

烘干机设备采用PLC控制,触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时的和历史的
  • P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
  • 主机sec - gem接口(可选)

所有工具均按照安全CE规则实现。

独立烘干机双6英寸载体。HOT N2技术" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-683x1024.jpg 683w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-200x300.jpg 200w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-768x1152.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-630x945.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-420x630.jpg 420w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-315x473.jpg 315w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD.jpg 800w">

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太阳能电池、薄膜玻璃的独立染色机

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