手动，半自动和自动

Bob体育下载链接APPSPM可根据客户要求生产不同版本的湿长椅。我们实现了各种类型的工具，从手动罩到全自动湿工作台与机器人。

我们多年来一直生产半导体设备，积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。

我们建议的湿板凳可以是:

  • 手册
  • 半自动
  • 自动

我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求，为每个问题提出正确的解决方案。

溶剂通常采用不锈钢材料，符合防火安全规定。酸碱，我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4882批准)。在这两种情况下，我们只使用高性能材料，确保没有化学污染或降解，安全和长设备寿命。

湿的长椅

清洗，加工和干燥罐由SPM设计和实现，仅使用顶级性能材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP

湿式工作台可配置为单架或双架。晶圆尺寸可以从3“到8”甚至更多。Bob体育下载链接APPSPM在太阳能电池生产和特殊部件清洗设备方面也有丰富的经验。

两个手动湿式工作台用于酸处理。" data-srcset="//m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-1024x683.jpg 1024w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-630x420.jpg 630w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-300x200.jpg 300w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-768x512.jpg 768w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-615x410.jpg 615w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-400x267.jpg 400w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-800x533.jpg 800w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-292x195.jpg 292w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045-585x390.jpg 585w, //m.admerse.com/wp-content/uploads/2018/05/IMG_8362_MOD50045.jpg 1200w">

湿的长椅
选项

湿板凳罐可以配备以下几种选择:

  • 超声波
  • Megasonic
  • 快速冲洗
  • 溢出360°
  • 上/Dw搅拌高度和频率可配置
  • 温度控制:加热-冷却
  • 溶液再循环与不同的泵和流量控制选项
  • 溶液混合和搅拌
  • 再灌装系统从cd或集成瓶/罐
  • 氮气泡沫
  • 控制大气
  • 蒸汽冷凝
  • 酸度计
  • 集中监控
  • 氧化还原计
  • 电阻率计
  • 自动覆盖

湿板凳选项:

  • 废气自动管理b0b体育平台下载
  • 层流HEPA过滤器

所有SPBob体育下载链接APPM湿台均采用PLC和触摸屏控制，对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备，以防需要。

市场

半导体

晶圆/掩模加工及清洗，设备零件清洗

光伏

Iso纹理，单元格回收

研究中心/实验室

化学实验室防护罩

画廊

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